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系統(tǒng)由真空腔室（外延室、進(jìn)樣室）、樣品傳遞機(jī)構(gòu)、樣品架、旋轉(zhuǎn)靶臺(tái)、真空排氣、真空測量、電器控制、配氣、計(jì)算機(jī)控制等各部分組成。1、★★外延室：極限真空優(yōu)于：5.0x10-8pa真空漏率小于2.0x10-8pa.l/s
更新時(shí)間:2025-05-16
該設(shè)備是一款小型磁控濺射鍍膜儀，主要特點(diǎn)是設(shè)備體積小，結(jié)構(gòu)簡單緊湊易于操作，對(duì)實(shí)驗(yàn)室供電要求低；該系列設(shè)備主要部件采用進(jìn)口或者國內(nèi)最優(yōu)的配置，從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性；另外自主開發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設(shè)備的運(yùn)行重復(fù)性及安全性方面得到更好地保障。該設(shè)備標(biāo)配2只φ2英寸永磁靶，一臺(tái)500w直流濺射電源（用于濺射金屬導(dǎo)電材料），1臺(tái)300w全自動(dòng)匹配射頻濺射電源（用于
更新時(shí)間:2025-05-16
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